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德國SPS-EUROPE 勻膠機

簡要描述:德國SPS-EUROPE 勻膠機具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動快速,涂膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應(yīng)用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。

  • 產(chǎn)品型號:SPN150i
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-25
  • 訪  問  量:2348

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間10萬-30萬
產(chǎn)地類別進口應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工,石油

德國SPS-EUROPE 勻膠機

 

產(chǎn)品概述

德國SPS-EUROPE勻膠機具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動快速,涂膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應(yīng)用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。

工作原理

德國SPS-EUROPE 勻膠機的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

*特征

  • 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器,可拆卸,耐化學試劑腐蝕。速度、加速和時間可編程;無*程序存儲空間,可存儲旋涂多步驟工作協(xié)議,具有協(xié)議密保功能。
  • 可編程轉(zhuǎn)速范圍: 1rpm-12,000rpm,轉(zhuǎn)速參數(shù)設(shè)置范圍廣,高精確性旋轉(zhuǎn)速度 (± 0.1 rpm)。
  • 數(shù)字電機控制,帶增速數(shù)字顯示信號反饋,以避免轉(zhuǎn)速過量,從而提升涂膜的品質(zhì)。
  • 防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉室的交叉污染。
  • 一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計,殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì),傳動系統(tǒng)采用工程塑料材質(zhì),壽命長耐腐蝕。
  • 采用經(jīng)過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動將蓋子固定在理想位置,玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學試劑,氮氣擴散器在旋涂過程可注入到工作艙氮氣/氬氣,工作艙環(huán)境可控。
  • 安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止,艙蓋打開旋轉(zhuǎn)自動停止,真空不足或沒有真空旋轉(zhuǎn)自動停止,過載保護。
  • USB端口:可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件。
  • 三個外接控制端口,可用于接入注入單元自動控制,氮氣擴散器控制等。
  • 產(chǎn)品通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

 

型號

SPN150i

SPN200i

控制方式

全彩觸摸屏控制界面

全彩觸摸屏控制界面

結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

旋轉(zhuǎn)速度

1-12000rpm ±1rpm steps

1-12000rpm ±1rpm steps

旋轉(zhuǎn)精度

±0.1rpm

±0.1rpm

旋轉(zhuǎn)方向

順時針,逆時針,交換擺動

順時針,逆時針,交換擺動

加速/減速

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

旋轉(zhuǎn)時間

 0.1-99999秒/步

 0.1-99999秒/步

基片范圍

160mm 或6"直徑或4"x4"方片

260mm 或6"直徑或6"x6"方片

腔體直徑

202mm

302mm

外接控制端口

3個

3個

真空開關(guān)

外形尺寸

27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

380x559x307cm(WxDxH)

 

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