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掃描電鏡等離子清洗機是怎么工作的?

更新時間:2024-12-05       點擊次數(shù):311

掃描電鏡等離子清洗機是一款專為掃描電子顯微鏡(SEM)樣品準(zhǔn)備而設(shè)計的高效清洗設(shè)備。該機利用等離子體技術(shù),通過活性氣體的激發(fā),去除樣品表面的有機污染物和微塵,確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質(zhì)量成像。

掃描電鏡等離子清洗機的工作原理主要基于等離子體的化學(xué)反應(yīng)和物理作用。通過高頻電磁場激發(fā)工作氣體,使氣體分子電離并產(chǎn)生高能等離子體。這些等離子體在電場作用下獲得足夠的能量,與周圍的氣體分子發(fā)生碰撞,進(jìn)一步產(chǎn)生更多的高能活性粒子。這些高能粒子與待處理材料表面進(jìn)行碰撞,將表面附著的污染物撞擊并脫離表面,從而達(dá)到表面清潔的目的。同時,等離子體中的活性粒子與材料表面還可能發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成揮發(fā)性物質(zhì),將污染物轉(zhuǎn)化為易于去除的形式,進(jìn)一步凈化表面。

本公司提供的CIF掃描電鏡等離子清洗機采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,掃描電鏡等離子清洗機主要用于SEM或FIB等腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span> 

 


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