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勻膠旋涂儀在選購時(shí)建議您關(guān)注的因素

更新時(shí)間:2022-11-25       點(diǎn)擊次數(shù):2428
  勻膠旋涂儀具有勻膠效率高,使用方便等特點(diǎn)。其勻膠速度、時(shí)間分多個(gè)時(shí)段,并分別無級可調(diào)。面對眾多的品牌,在選購合適的勻膠旋涂儀時(shí)您可以關(guān)注哪些因素呢?
 
  1、旋轉(zhuǎn)速度: 轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。
 
  2、尺寸選擇,根據(jù)尺寸的不同選擇不同大小的機(jī)型。
 
  3、材質(zhì)的選擇:對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。
 

勻膠旋涂儀

 


 
  勻膠旋涂儀在勻膠過程中基片的加速度也會對膠膜的性能產(chǎn)生影響。因?yàn)樵诨D(zhuǎn)的第一階段,光刻膠就開始干燥(溶劑揮發(fā))了。所以精確控制加速度很重要。在一些勻膠過程中,光刻膠中50%的溶劑就在勻膠過程開始的幾秒鐘內(nèi)揮發(fā)掉了。在已經(jīng)光刻有圖形的基片上勻膠,加速度對膠膜質(zhì)量同樣起重要作用。在許多情況下,基片上已經(jīng)由前面工序留下來的精細(xì)圖形。因此,在這樣的基片上穿越這些圖形均勻涂膠是重要的。勻膠過程總是對光刻膠產(chǎn)生離心力,而恰恰是加速度對光刻膠產(chǎn)生扭力(twisting force),這個(gè)扭力使光刻膠在已有圖形的周圍散開,這樣就可能以另一種方式用光刻膠覆蓋基片上有圖形的部分。
 
  所有勻膠過程中光刻膠的干燥速度不僅取決于光刻膠的自身性質(zhì)(如所用溶劑體系的揮發(fā)性),而且還取決于勻膠過程中基片周圍的空氣狀況。一塊濕布在干燥有風(fēng)的日子干得快,而在潮濕氣候條件下干得慢。光刻膠的干燥速度與此相似,也受周圍環(huán)境條件的影響。
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